Diferentes tipos de polímeros foram decapados pela técnica de "plasma etching" empregando-se oxigênio. Serão apresentados os resultados obtidos para a velocidade de decapagem em função dos parâmetros do "plasma etching" tais como pressão de trabalho, fluxo dos gases e potência injetada. Inclui-se um estudo da qualidade da decapagem por Microscopia Eletrônica de Varredura.
