PROJETO E CONSTRUÇÃO DE UM MONITOR DE ESPESSURA E TAXA DE DEPOSIÇÃO

Autores

  • C. C. M. Junqueira
  • S. A. A. Nobre
  • C. A. S. de Oliveira

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v5i1-2.896

Resumo

Apresentamos o projeto de um monitor de espessura e taxa dedeposição, construído a partir de componentes facilmente encontrados no mercado nacional. O monitor é constituído basicamente porum oscilador local acristal de quartzo, montado no interior da campânula do evaporador, e por um oscilador externo. A massa depositada sobre o cristal acarreta uma variação na sua frequência de oscilação. A variação defrequência em relação ao oscilador externo é traduzida em informações de espessura e taxa de deposição.

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