Filmes nanométricos de titânia depositados via Magnetron Sputering DC

Autores

  • Suzy Pascoali IF-SC
  • Joel Brasil Borges IF-SC
  • Sergio Artur Bianchini Bilac UFSC
  • Orestes Estevam Alarcon UFSC

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v32i1-2.927

Palavras-chave:

Titânia, Filmes finos, Magnetron Sputtering.

Resumo

Neste trabalho foram depositados filmes finos de TiO2 sobre vidro para modificar as características superficiais. Os filmes foram obtidos via Magnetron Sputtering em corrente contínua, uma técnica que forma de camadas de excelente qualidade, com controle de processo e reprodução da microestrutura. Foram analisadas a espessura e a morfologia. Os filmes nanométricos, com espessuras de 120 a 630 nm, são ricos em nanocristais.

Biografia do Autor

Suzy Pascoali, IF-SC

Professora no campus Araranguá do IF-SC

Joel Brasil Borges, IF-SC

Professor do campus Itajaí do IF-SC

Sergio Artur Bianchini Bilac, UFSC

Professor visitante da UFSC

Orestes Estevam Alarcon, UFSC

Professor do PGMAT da UFSC

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Publicado

2014-10-15

Edição

Seção

Superfícies e Filmes Finos