Silva Sobrinho, Argemiro Soares da, Departamento de Ciência e Tecnologia Aeroespacial – Instituto Tecnológico de Aeronáutica – São José dos Campos (SP), Brazil., Brasil

• Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo v. 40 n. 1 (2021) - Sessão Especial: XLI CBraVIC
  Study of aluminum nitride films deposited on silicon for fabrication of MEMs devices
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