Doi, Ioshiaki, Centro de componentes Semicondutores, Brasil
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Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo v. 27 n. 2 (2008) - Artigos
PHYSICAL PROPERTIES OF (Al-Si-Cu)-N THIN FILMS DEPOSITED BY DC-REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING
Resumo PDF -
Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo v. 27 n. 4 (2008) - Artigos
THERMAL DEGRADATION OF NiPt GERMANOSILICIDE FILMS FORMED ON UNDOPED AND DOPED SiGe SUBSTRATES
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