Daudt, Natália de Freitas, Universidade Federal do Rio Grande do Norte, Brasil
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Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo v. 30 n. 1-2 (2011) - Ciência e Tecnologia de Plasmas
DEPOSIÇÃO DE FILMES DE TiN POR GAIOLA CATÓDICA EM ATMOSFERA DE PLASMA DE Ar-N2-H2
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