CARACTERIZAÇÃO DE FILMES DE DIAMANTE DOPADOS COM BORO

Autores

  • N. K. Franco
  • T. Doi
  • A. C. Peterlevitz
  • J. C. A. Alcócer
  • D. Chang
  • V. Baranauskas
  • C. R. Rodrigues
  • V. J. Trava-Airoldi

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v13i1-2.326

Resumo

Filmes de diamante dopados tipo p foram crescidos pelo processo de deposição química a partir da fase vapor assistida por filamento quente (DQFV-FQ), sobre substratos de Si <100>, usando como dopante uma fonte sólida de Nitreto de Boro. A dopagem foi realizada concomitantemente ao processo de crescimento. A estrutura cristalina e a morfologia da superfície dos filmes foram caracterizados por Espectroscopia Raman e Microscopia de Força Atômica. A Espectroscopia de Tunelamento Eletrônico mostrou a experiência de uma banda proibida de energia no filme de cerca de 3,15 eV; e as medidas de resistência elétrica do filme em função da temperatura, uma energia de ativação estimada de 0,14 eV.

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Publicado

2008-08-08

Edição

Seção

Artigos