Filmes finos calcogênicos têm sido produzidos, para a utilização como resiste em processos litográficos [1-9]. O processamento envolve produção de filmes, sensibilização e revelação. Foram caracterizadas as etapas de processamento, por microscopia eletrônica de varredura e análise por raios-X (EDS), objetivando a otimização dos parâmetros experimentais. A geração dos padrões geométricos foi realizada com o uso de máscaras, onde se obtiveram padrões com dimensões de 15 mícrons.
