CARACTERIZAÇÃO IN SITU DE FILMES FINOS: DEPOSÍMETRO À FIBRA ÓTICA

Autores

  • W. Guedes
  • R. Klippert
  • R. M. Agosto
  • S. B. Mendes
  • M. Fin
  • F. Horowitz

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v10i1.449

Resumo

Neste artigo é apresentada uma revisão não-exaustiva dos métodos de monitoração de filmes finos para aplicações ópticas, com ênfase na monitoração óptica, suas vantagens e limitações no controle do processo de deposição. Neste contexto, são relatados os primeiros resultados obtidos no desenvolvimento local de um deposímetro à fibra ótpica com comprimento de onda variável, amplificador síncrono com dois canais ativos e divisor analógico de sinais a tolerâncias muito baixas.

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