PADRÃO INTERNACIONAL PARA DETERMINAÇÃO DE DESEMPENHO DE BOMBAS IÔNICAS- DETERMINAÇÃO DA VELOCIDADE DE BOMBEAMENTO

Autores

  • C. Santos
  • M. J. Ferreira
  • R. Landers
  • C. P. Pinelli
  • G. M. Gualberto

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v11i1.531

Resumo

Um projeto de fabricação e desenvolvimento de equipamento de completa com a determinaçao, por um processo de avaliação bem determinado e confiavel, das características de seu desempenho. O Laboratório de Vácuo do Instituto de Física “Gleb Wataghin”/UNICAMP — LVac projetou e fabricou um protótipo de bomba iônica por “sputtering”—BI que atingiu a pressão total final de 2,4x10(—1O) mbar e velocidade de bombeamento de 70 l/s a 2x10(—6) mbar. Para caracterizar esse protótipo, foi projetada e construída uma estação de testes de acordo com a norma 3556/1, de 1974, da International Organization for Standardization—ISO. Foi realizada a caracterizaçao do protótipo desenvolvido pelo LVac e de uma bomba Varian, Starcell. Os resultados obtidos permitiram desenvolver uma segunda versão do protótipo, de alto desempenho na região de ultra alto vácuo, e de um protótipo que deverá apresentar grande eficiência no bombeamento de ga ses nobres.

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