MEDIDOR ÓPTICO DE ESPESSURAS DE FILMES FINOS DE CARBONO

Autores

  • N. Ueta
  • M. Emura
  • D. Pereira
  • E. S. Rossi Jr.
  • L. C. Chamon
  • C. P. da Silva

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v11i1.535

Resumo

Foi desenvolvido um medidor óptico de espessura de filmes finos de carbono, utilizados como trocadores de carga do feixe de íons do acelerador Pelletron. Para efeito de calibração, as medidas absolutas de espessura foram realizadas por espalhamento de Rutherford com um feixe de 160 de 20 MeV. O medidor desenvolvido de precisão adequada e de fácil manejo no uso continuado.

Downloads

Edição

Seção

Artigos