PRODUÇÃO DE FILMES DE ZnTe POR SUBLIMAÇÃO EM ESPAÇO REDUZIDO

Resumo

Filmes finos de ZnTe têm sido usado em células fotovoltai-cas de CdS/CdTe como camada intermediária entre a ca-mada absorvedora de CdTe e o metal usado como contato de fundo, minimizando o efeito retificador presente nesta região do dispositivo. Esta camada tem sido depositada por diversas técnicas, tais como, sublimação em espaço reduzido (CSS), pulverização catódica, deposição eletroquímica, entre outras. Neste trabalho filmes finos de ZnTe foram depositados por sublimação em espaço reduzido (CSS), onde o diferencial do mesmo foi a colocação das fontes de aquecimento, tanto do material fonte como dos substratos dentro do sistema de vácuo. Foram realizadas deposições de ZnTe com a distância fonte-substrato de 2,7 mm e pressão do sistema de 1 Torr de argônio. As temperaturas da fonte e do substrato foram variadas na faixa de 580 a 700°C e 380 a 500°C, respectivamente. Com o sistema de aquecimento localizado dentro da câmara de deposição foi possível obter taxas de aquecimento e diferenças de temperatura entre a fonte e o substrato maiores do que as obtidas com sistema de aquecimento localizado fora da câmara de deposição, significando processos de deposições mais rápidas e com menor gasto de energia.