O processo de adsorção estimulado pelo impacto de elétrons(electron stimulated desorption-ESD) pode perturbar bastante as informações obtidas pelaespectroscopia deelétrons Auger. Por outro lado ESD tornou-se, nos úlimos anos, um método próprio para estudos de superfícies; Foi estudado a desorção de O+ em óxidos de W, Ta, Mo, Fe, Ni, Cu e também camadas de oxigênio adsorvido em Fe e Ni.
Os resultados mostram que ESD de certo modo é capaz de distinguir os diversos compostos o que indica evidência para existência de diferentes mecanismos de desorção.
