Filmes finos de In203:Sn (ITO) foram obtidos pelo método de evaporaço reativa a partir de uma liga de In-Sn na presença de oxigênio ionizado. As propriedades dos filmes foram investigadas como função da temperatura do substrato. Para caracterizar as propriedades elétricas, realizou-se medidas de efeito Hali. Para a anélie ótica foram feitas medidas de transmitância enquanto que a
cristalinidade foi observada através da técnica de difração de elétrons.
