FORMAÇÃO DE SILICETOS DE PLATINA EM LIGAS DE SILICIO AMORFO HIDROGENADO

Autores

  • C. Gatts
  • W. Losch
  • W. Beyer
  • H. Wagner

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v8i1-2.769

Resumo

A formação de silicetos de platina em ligas de silício amorfo hidrogenado (a—Si:H), mais especificamente carbetos (a—Si:C:H) e nitretos (a—Si:N:H),foi estudada por intermédio da espectrosco pia de elétrons Auger. Os tratamentos térmicos a vâcuo a que foram submetidas as amostras foram tais que não somente permitissem a completa reação dos filmes de platina, formando Pt2Si1-xYx, Como também propiciassem o aparecimento de outras fases mais ricas em silício, como Pt2Si1-xYx. Os filmes de a—Si:C:H mostraram este tipo de comportamento, mas os de a—Si:N:H apenas apresentaram a primeira fase, com o nitrogênio se concentrando exclusivamente na camada de liga não reagida, ao contrário do carbono, que foi observado na camada de siliceto.

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