É mostrado o efeito da variação da energia e do ãngulo de incidência de ions numa experência de perfilamento em composição de urna interface entre GaAs e GaInAs obtida por erosão iônica e Espectroscopia AUGER. Fica evidenciado que em energias abaixo de 500eV e ngulos razantes obrem—se perfis sem a introdução de artefatos instrumentais.
