ESTUDO DA DESCARGA NA MÁQUINA DE PlASMA QUIESCENTE DO INPE

Autores

  • J. G. Ferreira
  • J. L. Ferreira
  • G. O. Ludwig
  • H. S. Maciel

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v8i1-2.777

Resumo

São apresentadas medidas que caracterizam os principais parâmetros do plasma produzido na máquina de plasma quiescente do INPE para diversos valores de pressão e potencial de descargas e corrente de 500mA. Verifica-se que a densidade varia de cerca de 108cm-3 a 1010cm-3 e a energia média dos elétrons se situa entre 1eV e cerca de 10ev. A distribuição de energia dos elétrons é não-maxwelliana e corresponde a uma população de elétrons primários de alta energia (dezenas de eV) e a duas populações de elétrons com temperaturas abaixo de 10eV. O potencial do plasma é tipicamente de 1V a 3V em relação ao anodo, mas cai rapidamente para valores negativos quando a pressão se aproxima de 10-3Pa. Interpretações qualitativas dos resultados obtidos são fornecidas e um modelo simples para a densidade do plasma é comparado aos valores experimentais. As condições de operação do catodo são também investigadas.

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