A demonstraço por Maeda e col, de supercondutividade com Tc de~ 110 K em compostos de Bi-Sr-Ca-Cu-O, gerou grande interesse em depositar filmes finos de supercondutores baseados em Bi. A maioria dos pesquisadores utiliza a deposição simultânea por evaporaçao ou pulverização catódica com fontes múltiplas. Este trabalho descreve a preparação de filmes finos supercondutores sobre substratos pela técnica de pu1verização catôdica RF utilizando—se alvo único. O aquecimento e a polarizacao dos substratos tornaram os filmes finos cristalinos e condutores. Verificou-se que a temperatura de substratos, de 500° C resulta na formação incompleta da fase supercondutora com Tc de 107 K após o recozimento dos filmes. Filmes finos supercondutores, como depositados, com Tc 6—20 K, foram preparados com o aquecimento de substratos a 525º C e po1arização a —150 V. Observou—se a fase ortorrôbica Bi2Sr3_xCaxCU2O8. Foi sugerida estrutura tetragonal com a —7,66 Å. e c— 37,38 Å, consistente com observaçes anteriores, para a fase Bi2Sr2Ca2Cu3O10 com Tc de 110 K.
