DESENVOLVIMENTO DE TÉCNICAS DE CRESCIMENTO SELEIIVO DE OURO PARA CIRCUITOS HÍBRIDO EM FILME FINO

Autores

  • M. R. Finardi
  • M. Barnett
  • C. A. Finardi

DOI:

https://doi.org/10.17563/rbav.v8i1-2.799

Resumo

O trabalho apresenta a técnica de crescimento seletivo de camada de ouro sobre substratos cerâmicos metalizados a vácuo, desenvolvida na Coordenação de Área de circuitos Híbridos do CPqD — Telebrás. Nesta técnica gera—se nos substratos metalizados guias com fotorresiste de alta resolução (AZ 4620) para crescimento de ouro eletrolítico somente nas áreas dos circuitos. Obteve—se pistas condutoras de 4 micra de espessura com excelente definição até dezenas de micra, na fabricação de circuitos híbridos em filme fino para microondas (CIM).

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