Filmes finos de polímeros são obtidos a partir de plasmas de rádio-frequência em misturas de C2H, e SF6 com proporções variáveis. Os po1ímeros foram caracterizados por Espectroscopia de Absorção Infravernelha e por Espectroscripia de Foto—elétrons. As análises mostraram que fluor e enxofre forem incorporados aos polímeros em proporções que dependiam da concentração de SF6 no plasma. Observou-se que a razão entre fluor e enxofre nos polímeros era maior que na noiácula de SF6.
