de Souza, Cesar Augusto Alves
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Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo v. 26 n. 3 (2007) - Artigos
CARACTERIZAÇÃO ELÉTRICA DE OXINITRETOS DE SILÍCIO ULTRAFINOS PARA PORTA MOS OBTIDOS POR IMPLANTAÇÃO DE NITROGÊNIO NA ESTRUTURA Si-poli/SiO2/Si
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