Blando, Eduardo, Pontifícia Universidade Católica do Rio Grande do Sul, Brasil, Brasil
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Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo v. 27 n. 3 (2008) - Artigos
AVALIAÇÃO DO STRESS RESIDUAL EM FILMES FINOS METÁLICOS: INFLUÊNCIA DA ENERGIA DE DEPOSIÇÃO NO PROCESSO DE DC MAGNETRON SPUTTERING
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