Amarante Segundo, Gesil Sampaio, Universidade Estadual de Santa Cruz – Ilhéus (BA), Brasil, Brasil
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Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo v. 40 n. 1 (2021) - Sessão Especial: XLI CBraVIC
Estudo de um modelo bidimensional de reator de plasma RF com acoplamento capacitivo simulado pelo método de elementos finitos
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