Guimarães, Gilson Ronaldo, CETEC-MG REDEMAT-UFOP, Brasil
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Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo v. 30 n. 1-2 (2011) - Ciência e Tecnologia de Plasmas
STUDY OF THE PLASMA EMISSION IN A MAGNETRON SPUTTERING SYSTEM FOR A-SI:H PRODUCTION
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