Fontana, Luís César, Universidade do Estado de Santa Catarina, Brasil
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Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo v. 27 n. 2 (2008) - Artigos
EFEITOS DO CONFINAMENTO ELETROMAGNÉTICO DO PLASMA NO BOMBARDEAMENTO DO SUBSTRATO EM UM SISTEMA TRIODO MAGNETRON SPUTTERING
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