Michel, H.
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Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo v. 18 n. 1 (1999) - Artigos
a-ZrO2 DEPOSITION INSIDE HOLLOW SUBSTRATES BY REMOTE PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION. MODELING OF THE PROCESS
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Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo v. 11 n. 1 (1992) - Artigos
Active species in Ar-N2-H2-CH4 flowing rnicrowave discharges for hard coatings
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